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    隧道爐

    芯片托盤校正隧道爐

      在半導(dǎo)體制造的精密賽道上,芯片托盤變形正成為影響生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率的 “隱形殺手”。材料老化、高溫沖擊、應(yīng)力不均等因素,可能導(dǎo)致托盤出現(xiàn)翹曲、形變,引發(fā)芯片定位偏差、接觸不良等問題,造成生產(chǎn)線停滯、良品率驟降,甚至帶來高昂的返工成本與交付風(fēng)險(xiǎn)。如何突破這一技術(shù)瓶頸?愛福旺公司自主研發(fā)的隧道爐,以創(chuàng)新科技為芯片托盤 “重塑新生”,為半導(dǎo)體生產(chǎn)注入高效穩(wěn)定動(dòng)能!
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        芯片托盤變形隧道爐參數(shù)如下:

        內(nèi)膽尺寸:長3000*寬,330*高 150mm,爐口凈高 50mm,配手動(dòng)調(diào)節(jié)門。
        外形尺寸(約):長3000*寬 650*高 2150日mm,地面離輸送面高度1350mm±25mm,進(jìn)/出料段各留500rnrn。
        溫度范圍:室溫+10~+250℃可調(diào)節(jié)。
        溫度波動(dòng)度: 小于等于±l °C。
        溫度均勻度:小于等于土3℃(恒溫狀態(tài)下, 空載測(cè)試)。
        升溫速率: 大于等于5-10度/分。
        外殼溫度: 溫升不超過環(huán)境+15℃, 接縫處周邊除外。
        循環(huán)風(fēng)方式:水平循環(huán)運(yùn)風(fēng)
        電源:二相五線制, 380V, 50HZ

        功率: 約14KW

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        工業(yè)烤箱通用A1-1100型烤箱


        東莞市愛旺工業(yè)設(shè)備有限公司

        市場(chǎng)咨詢: 139-0264-6285 彭總



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